摘要： 本文用计算机模拟10¹²至10¹⁴/cm²剂量的磷离子和10¹²至10¹³/cm²剂量的硼离子注入硅后,用氧化剥层技术测试杂质分布的情况,特别是表面态和衬底PN结对剥层测试的影响。分析表明磷剂量低于10¹³/cm²和硼剂量低于10¹²/cm²时,剥层法测出的分布会严重偏离实际注入分布。还分析了用表面态耗尽层宽度来估计这种偏差不可靠的原因。