摘要： 本文首次提出了用Monte Carlo迭代计算实现多元组份样品X射线定量分析的理论和方法。作为实例,对Fe-Gr-Ni标准合金块状样品在不同加速电压下作了EPQA实验,用本方法所得结果略优于著名的ZAF方法。给出的定量分折计算程序流程具有较高自动化,电子在合金中散射过程用文献[1]提出的模型进行计算。