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PECVD a-SiNx:H薄膜中的氢分布
何奕骅, 翁丽敏, 许春芳, 杨光, 邬学文
ANALYSIS ON-HYDROGEN IN PECVD a-SiNx: H
He Yihua, Weng Limin, Xu Chunfang, Yang Guang, Wu Xuewen
波谱学杂志 . 1998, (
4
): 295 -302 .